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智能高压反应釜
磁力传动装置是高压反应器实现物料混合的核心技术，是设计压力超过50bar的部件。专利公开后成为压混合设备的行业。
磁力传动装置将真正用于搅拌的部件密封在压力内，以此解决了搅拌轴与反应器之间动密封的可靠性。由于磁力传动装置的基本制造材料均为铁磁性（铁基合金，镍基合金），磁导率，磁场在穿过用于密封合金层时几乎没有损耗。由此外部驱动永磁体产生的磁场可以有效被内部永磁体转子接受，进而带动反应器内的搅拌部件进行物料混合。SMA总裁GeorgeBurns指出，自2003年下半年半导体景气确定回暖后，半导体厂商陆续提高资本支出，展开新一波兴建晶圆厂风潮，不仅带动2004年半导体设备市场高度增长，以兴建速度而言，目前这些新建晶圆厂均纷纷进入装机阶段，例如超微(AMD)德勒斯登12寸厂Fab36、中芯北京12寸厂Fab4、特许(Chartered)新12寸厂Fab7等。
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