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随物料的物性不同，可选择适当的温度。通常可选用变温干燥法，在干燥初期温度低，逐渐提高温度，以增大干燥速率。开始抽真空并加热时，干燥速度慢，当物料加热到水的汽化温度以上时，干燥速度会突然加快，物料在允许温度范围内被加热到相应压力下的汽化温度而大量汽化，这时物料温度保持不变，加入的热量供作汽化热和各项热损失，真空系统不断排出汽化的蒸汽，保持蒸发表面与空间的压力差，使干燥持续进行。物料的湿含量减小到一定程度，从物料中蒸发出来的水分减少了，在加热量不变的情况下，物料温度开始升高，蒸发表面与空间压差减小，干燥转入减速阶段。干燥速度逐渐下降，直至零。
在密闭的夹层中通入热能源（如热水、低压蒸气或导热油），热量以内壳传给被干燥物。在动力驱动下，罐体作缓慢旋转，罐内物料不断地混合，从而达到强化干燥的目的。物料处于真空状态，蒸汽压下降使物料表面的水份（溶剂）达到饱和状态而蒸发了，并由真空泵及时排出回收。物料内部的水份（溶剂）不断地向表面渗透、蒸发、排出，三个过程不断进行，物料在很短时间内达到干燥的目的。
真空干燥机是一种真空的对物料加热的低温设备。真空干燥机是用于高附加值、且具有热敏性的农副产品、保健品、食品、药材、果蔬、化工原料等的脱水干燥；用于化工产品的低温浓缩、结晶水的脱除、酶制剂的干燥等，中草药的真空提取，适用于科研院校的实验。
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