日本光驰OTFC-1550带涉频源真空镀膜机-光学镀膜机含安装
日本光驰OTFC-1550带涉频源真空镀膜机-光学镀膜机含安装
配置表：OTFC-1550光驰镀膜机 准机机，在线使用中的设备，可试机打样，教工艺，含保修。
日本电子16F双枪，23寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器 在线使用中的设备 此设备保养好 日本 含安装调试教工艺。. 用途：此真空镀膜机是镀制防污膜（AS膜）及防反射膜+防污膜（AF+AS膜）型光学镀膜机，应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染，消除空间碰撞，提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性，运动模式的膜均匀性好，镀层的台阶覆盖性能好，承载能力大，可充分利用有效空间的真空镀膜室，是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵，扩散泵，管道和阀门组成。为了提高泵的流量，可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此，不仅在较短的时间内低压力以的工作循环的排气系统，还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征：磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备：配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性；用于防污膜（AS 膜）批量生产；防污膜（AS 膜）批量生产。
5.性能：达到压强7.0E-5Pa以下
6.配置参数：
真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm
基板架转速 20rpm
晶振式膜厚计 6点式⽔晶传感器
蒸发源电⼦枪1台，热阻蒸达到压强 7.0E-5Pa 以下
排强时间 15分以下（压强〜2.0×10-3 Pa）
7.工作条件：
设备尺寸约6300mm (W)×9000mm (D) ×4000mm (H)
电源 3相,200v,50/60Hz,约80KVA
水流量 220升/分以上
空气压力 0.5-0.7mpa
重量约12000kg
镀膜机清单
品牌 规格（MM）
日本光弛 1300.1550.2350
日本新科隆 1350
韩国韩一镀膜机 900.1200.1600.2050
韩国联合镀膜机 1650.205
莱宝镀膜机 APS1100
台湾龙翩 1400.1650.1800
成都南光 1100 1300
销售设备清单
序号 设备名称 规格型号 品牌
1 双面抛光机 6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B 日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌
2 真空蒸发镀膜机 LP1650/1800/2350/1104 光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合
3 自动移载机 PH802
4 自动移载机 PH802
5 8寸贴膜机 UTAS208A
6 下摆机 光进/时代
7 推拉机 永田
8 铣磨机 勇益
9 仿形机 120/150/170/200/250 中航
10 异形开料机 1240 精一
11 金相显微镜 XJX-6 奥林巴斯
12 金相显微镜 MA-2002 奥林巴斯
13 干涉仪 100 ZYGO
14 奥林巴斯体视显微镜 SZ51
15 紫外分光光度计 1700/1750/1800/2401/2450/2550 日本岛津
16 光谱仪 4100 日本日立
17 红外光度计 21 傅利叶
18 超声波洗净机 科伟达/三和
19 二次元影像测量仪 2010/3020/4030
20 全自动脱泡机 1200/1350/1550 鑫力/诺峰/深科达
